六氟化硫，化學(xué)式為SF6，是一種無色、無臭、無毒、不燃的穩(wěn)定氣體，分子量為146.06，在20℃和0.1 MPa時(shí)密度為6.1 kg/m3，約為空氣密度的5倍，六氟化硫在常溫常壓下為氣態(tài)。目前國內(nèi)使用的氣體種類分為工業(yè)六氟化硫以及電子工業(yè)用氣體六氟化硫，主要區(qū)別在于純度及雜質(zhì)的要求，如下所示：
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：
GB/T 12022-2014《工業(yè)六氟化硫》
GB/T18867-2014《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》
國內(nèi)哪里可以檢測(cè)六氟化硫純度？什么機(jī)構(gòu)可以檢測(cè)六氟化硫？國家重點(diǎn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，氣體檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室提供各種氣體檢測(cè)項(xiàng)目，可打官司。檢測(cè)項(xiàng)目：純度檢測(cè)，雜質(zhì)分析，固體顆粒等。江蘇科海檢驗(yàn)可全國范圍內(nèi)上門取樣，3個(gè)工作即可出報(bào)告！
GB/T 12022-2014《工業(yè)六氟化硫》
檢測(cè)指標(biāo) | 單位 | 標(biāo)準(zhǔn)限值 |
六氟化硫（SF6）純度 | 10-2(m/m) | ≥99.9 |
空氣（O2+N2）含量 | 10-6(m/m) | ≤300 |
四氟化碳（CF4）含量 | 10-6(m/m) | ≤100 |
六氟乙烷（C2F6）含量 | 10-6(m/m) | ≤200 |
八氟丙烷（C3F8）含量 | 10-6(m/m) | ≤50 |
水分（H2O）含量 | 10-6(m/m) | ≤5 |
酸度（以HF計(jì)） | 10-6(m/m) | ≤0.2 |
可水解氟化物 （以HF計(jì)）含量 | 10-6(m/m) | ≤1 |
礦物油含量 | 10-6(m/m) | ≤4 |
毒性 | / | 生物無毒試驗(yàn) |
GB/T18867-2014《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》
檢測(cè)指標(biāo) | 單位 | 標(biāo)準(zhǔn)限值 |
六氟化硫（SF6）純度 | 10-2(v/v) | ≥99.999 |
（氧+氬）（O2+Ar）含量 | 10-6(v/v) | ≤2.0 |
氮（N2）含量 | 10-6(v/v) | ≤2.0 |
四氟化碳（CF4）含量 | 10-6(v/v) | ≤1.0 |
一氧化碳（CO）含量 | 10-6(v/v) | ≤0.5 |
二氧化碳（CO2）含量 | 10-6(v/v) | ≤0.5 |
甲烷（CH4）含量 | 10-6(v/v) | ≤0.5 |
水分（H2O）含量 | 10-6(v/v) | ≤3.0 |
酸度（以HF計(jì)） | 10-6(v/v) | ≤0.1 |
可水解氟化物 （以HF計(jì)）含量 | 10-6(v/v) | ≤8 |
總雜質(zhì)含量 | 10-6(v/v) | ≤10.0 |
顆粒 | / | 供需雙方協(xié)商 |
