一、保壓/耐壓測試(HOLD PRESSURE TESTING)
保壓法檢漏的目的是為了確保管路輸送系統(tǒng)沒有明顯的泄漏及管路耐壓情況進(jìn)行判斷，可以通過精確的圓盤/
電子實(shí)際完成對 VMB，氣瓶柜，氣體盤面和高純氣體管路的氣密性及機(jī)械扭力測試。也可以提供對大宗氣體，包
括應(yīng)用中的工藝氮?dú)猓?，氫氣，氧氣和氬氣系統(tǒng)的壓力測試。
特氣管道壓力測試驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：
參考標(biāo)準(zhǔn)：GB 50646-2011 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范
1.管道強(qiáng)度試驗(yàn)壓力應(yīng)為設(shè)計(jì)壓力的1.15倍，時間應(yīng)保持30min;
2.管道氣密性試驗(yàn)壓力應(yīng)為設(shè)計(jì)壓力的1.05倍，時間應(yīng)保持24h；
3.壓力實(shí)驗(yàn)過程應(yīng)記錄起始、終止溫度，溫度、壓力修正后的壓降值不得超過1%。
氦質(zhì)譜測漏是靈敏和無破壞性的確認(rèn)系統(tǒng)密封性，環(huán)境安全性和產(chǎn)品質(zhì)量的測試方法。機(jī)械式的干泵可以對
VMB，氣瓶柜，盤面和氣體管道進(jìn)行無污染的測試。在把系統(tǒng)交給客戶使用前，對于二次配的氣體管路進(jìn)行氦測
漏，進(jìn)一步的確保整個系統(tǒng)的密封性。測漏服務(wù)業(yè)可以含蓋對機(jī)臺的 CHAMBER 抽真空，噴氦，然后進(jìn)行機(jī)臺內(nèi)
部的檢測。
特氣管道氦檢漏測試驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：
參考標(biāo)準(zhǔn)：GB 50646-2011 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范
1.氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1x10-10mbar·1/s
2.特種氣體系統(tǒng)氦檢漏的泄露率應(yīng)符合下列規(guī)定：
內(nèi)向測漏法測定的泄露率不得大于1x10-9mbar·1/s
3.氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后，應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗(yàn)，合格后再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏；
4.所有可能泄漏點(diǎn)應(yīng)用塑料袋進(jìn)行隔離；
5.系統(tǒng)測試完畢，應(yīng)充入高純氮?dú)饣驓鍤?，并進(jìn)行吹掃。
在工藝應(yīng)用中的高純氣體中如果含有顆粒污染物會削弱甚至破壞晶圓的回路。顆粒測試可以檢查在高純氣體管
道中的顆粒污染物。激光探測器可以出色的完成對 VMB，氣瓶柜，氣體盤面和高純氣體管路的顆粒檢查任務(wù)。也
可以提供對大宗氣體，包括應(yīng)用中的工藝氮?dú)猓?，氫氣，氧氣和氬氣系統(tǒng)的顆粒檢查。
特氣管道顆粒測試驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：
參考標(biāo)準(zhǔn)：GB 50646-2011 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范
1.特種氣體系統(tǒng)顆粒測試時，其氣體流量應(yīng)根據(jù)管道直徑確定；
2.測試氣源的顆粒數(shù)應(yīng)在規(guī)定顆粒直徑狀態(tài)為零；
3.測試氣體中大于0.1~0.3微米的顆粒數(shù)應(yīng)≤35顆粒/m3；連續(xù)3次達(dá)標(biāo)為合格。
四、水份和氧份的分析測試(TRACE MOISTURE & OXYGEN ANALYTICAL TESTING)
追蹤測試在高純氣體管道中的水份和氧份測試來確保使用點(diǎn)的潔凈度達(dá)到規(guī)范要求。在使用點(diǎn)測試不純物的水
份和氧份含量是經(jīng)濟(jì)有效的方法來檢驗(yàn)高純氣體管道和當(dāng)中的元件是否能達(dá)到您的規(guī)范要求。我們可以達(dá)到 PPB
等級的精密測試儀器可以迅速正確的進(jìn)行分析測試，使您可以在計(jì)劃之前完成測試任務(wù)。在線的測試分析可以認(rèn)證
包括 VMB，氣瓶柜，氣體盤面和高純氣體管道的一個整個氣體系統(tǒng)。可以在先認(rèn)證大宗氣體包括工藝氮?dú)?，?/p>
氣，氫氣，氧氣和氬氣的純化器的試車結(jié)果。高效精確的測試儀器系統(tǒng)是您首選的第三方測試分析機(jī)構(gòu)。
特氣管道水分測試驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：
參考標(biāo)準(zhǔn)：GB 50646-2011 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范
1.特種氣體系統(tǒng)水分測試時，氣體速度應(yīng)低于設(shè)計(jì)流速的10%，且小于3m/s；
2.測試氣源的水分應(yīng)小于1ppbv；
3.測試氣體水分增量應(yīng)小于20ppbv；
4.測試結(jié)束后，應(yīng)至少保持20min穩(wěn)定在規(guī)定值以下為合格。
