電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料，它被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。
GB/T14601-2009氨氣電子級(jí)、光電子級(jí)產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 指標(biāo) | ||
| 電子級(jí) | 光電子級(jí) | ||
氨（NH3）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | ≥ | 99.9995 | 99.99994 |
氧（O2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1 | 0.1 |
氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1 | 0.1 |
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1 | 0.05 |
二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | / | 0.05 |
烴（C1~C3）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1 | 0.05 |
水分（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 3 | 0.2 |
總雜質(zhì)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 5 | 0.6 |
GB/T 17874-2010電子工業(yè)用氣體 三氯化硼技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 指標(biāo) | |
三氯化硼（BCl3）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | ≥ | 99.9995 |
氧+氬（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1 |
氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 4 |
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.5 |
二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.2 |
甲烷（CH4）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.5 |
總雜質(zhì)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 5 |
金屬離子 | 供需雙方商定 | |
顆粒 | 供需雙方商定 | |
GB/T 14851-2009電子工業(yè)用氣體 磷化氫技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 指標(biāo) | |||
磷化氫（PH3）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | ≥ | 99.9997 | 99.999 | 99.99 |
砷化氫（AsH3）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.1 | 2 | 10 |
氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1 | 3 | 50 |
氧（氬）（O2/Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.5 | 1 | 5 |
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.5 | 0.5 | 1 |
二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.5 | 1 | 10 |
總烴（以甲烷計(jì)）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.2 | 1 | 4 |
水分（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1 | 1 | 1 |
雜質(zhì)總含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 3 | 10 | 100 |
金屬離子 | 供需雙方定 | 供需雙方定 | 供需雙方定 | |
顆粒 | 供需雙方定 | 供需雙方定 | 供需雙方定 | |
GB/T 26250-2010電子工業(yè)用氣體 砷化氫技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 指標(biāo) | |
砷化氫（AsH3）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | ≥ | 99.999 |
氧+氬（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1 |
氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 3 |
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1 |
二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1 |
甲烷（CH4）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1 |
水（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 3 |
磷化氫（PH3）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.5 |
總雜質(zhì)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 10 |
金屬離子 | 供需雙方商定 | |
顆粒 | 供需雙方商定 | |
GB/T 14602-2014電子工業(yè)用氣體 氯化氫技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 指標(biāo) | ||
氯化氫純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | ≥ | 99.999 | 99.9995 |
氧+氬（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1.0 | 0.5 |
氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 2.0 | 2.0 |
二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 2.0 | 1.0 |
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1.0 | 0.5 |
烴（CH4+C2H4）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1.0 | 0.5 |
水分（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1.0 | 0.5 |
總雜質(zhì)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | — | 5 |
鐵（Fe）含量/（mg/L） | ≤ | 0.5 | 0.1 |
其他金屬元素（錳、鈷、鋅、銅、鉻、鎳）含量/（mg/L） | ≤ | 0.1 | 0.1 |
顆粒 | 供需雙方定 | 供需雙方定 | |
GB/T 14600-2009電子工業(yè)用氣體 氧化亞氮技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 指標(biāo) | ||
氧化亞氮純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | ≥ | 99.9994 | 99.997 |
二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.5 | 2 |
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.1 | 1 |
烴C1~C5（以甲烷計(jì)）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.1 | 1 |
氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 3 | 10 |
氧（O2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.5 | 2 |
水（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 1.0 | 3 |
氨（NH3）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 供需雙方定 | 5 |
一氧化氮（NO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 供需雙方定 | 1 |
二氧化氮（NO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 供需雙方定 | 1 |
雜質(zhì)總含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 5.5 | 26 |
GB/T 21287-2007電子工業(yè)用氣體 三氟化氮技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 指標(biāo) | |||||
三氟化氮（NF3）,10-2 （體積分?jǐn)?shù)） | ≥ | 99.5 | 99.9 | 99.98 | 99.99 | 99.996 |
四氟化碳（CF4）,10-6 （體積分?jǐn)?shù)） | ≤ | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
氮（N2），10-6 （體積分?jǐn)?shù)） | ≤ | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
氧+氬（O2+Ar），10-6（體積分?jǐn)?shù)） | ≤ | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
一氧化碳（CO），10-6 （體積分?jǐn)?shù)） | ≤ | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
二氧化碳（CO2），10-6（體積分?jǐn)?shù)） | ≤ | 25 | 10 | 10 | 5 | 0.5 |
氧化亞氮（N2O），10-6 （體積分?jǐn)?shù)） | ≤ | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
六氟化硫（SF6），10-6 （體積分?jǐn)?shù)） | ≤ | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
可水解氟化物（以HF計(jì)）或總酸度，10-6 （體積分?jǐn)?shù)） | ≤ | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
水（H2O），10-6 （體積分?jǐn)?shù)） | ≤ | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
GB/T 18867-2014電子工業(yè)用氣體 六氟化硫技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 指標(biāo) | |
六氟化硫（SF6）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | ≥ | 99.999 |
氧+氬（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 2.0 |
氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 2.0 |
四氟化碳（CF4）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 1.0 |
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 0.5 |
二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 0.5 |
甲烷（CH4）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 0.5 |
水分（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 3.0 |
酸度（以HF計(jì)）（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 0.1 |
可水解氟化物（以HF計(jì)）含量（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 0.8 |
總雜質(zhì)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 10.0 |
顆粒 | 供需雙方商定 | |
GB/T 15909-2017電子工業(yè)用氣體 硅烷技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 指標(biāo) | |
硅烷（SiH6）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | ≥ | 99.9999 |
氫（H2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 20 |
氧+氬（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.05 |
氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.5 |
甲烷（CH4）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.05 |
烴（C2~C4）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.1 |
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.05 |
二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.05 |
氯硅烷（二氯化氫硅、三氯氫硅、四氯氫硅）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.1 |
乙硅烷（Si2H6）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.3 |
水（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ＜ | 0.5 |
雜質(zhì)總含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 1 |
顆粒 | 供需雙方商定 | |
電性能規(guī)格 | 供需雙方商定 | |
重金屬及其他元素含量（摩爾分?jǐn)?shù)）/10-9 | 指標(biāo) | |
鋁（Al） | ＜ | 0.2 |
錫（Sb） | ＜ | 0.2 |
砷（As） | ＜ | 0.2 |
硼（B） | ＜ | 0.2 |
鎵（Ga） | ＜ | 0.2 |
磷（P） | ＜ | 0.2 |
鉻（Cr）+銅（Cu）+鐵（Fe）+鎳（Ni）+鋅（Zn） | ＜ | 1.0 |
